防静电基础知识讲义(ppt 29页)

防静电基础知识讲义目录：
一、静电产生的原理
二.、静电电荷产生的种类
三、静电电荷对微电子工业的影响
四、半导体的静电敏感度

 

防静电基础知识讲义内容摘要：
静电电荷对微电子工业的影响:
　　1. 微粒污染: 在洁凈室里,静电是使直径在0.1~1.0微米  之间的颗粒沉积的主要原因. 当芯片带有静电后就很容易沉积灰尘.
　　2. ESD(ESD中文意思是静电电压放电)失效: 静电放电时当放电电流过大, 产生过高热能, 将会击穿集成电路内部线路.
　　3. 三种击穿现象:
       1>. 热击穿: P-N破坏
       2>. 介电击穿: 氧化层的破坏
       3>. 金属汽化: 金属线被汽化而开路
静电放电的三种型式:
　　1. 人体型式: 当人体活动时身体和衣服之间摩擦产生静电, 若不及时将静电 释放给大地, 而直接把静电转移给ESD敏感装置而造成损坏.
　　2. 微电子器件带电型式: 在自动化生产过程中, 一些塑料器件因摩擦产生静 电, 通过ESD敏感装置接触, 造成损坏.
　　3.场感应型式: 在有强电场围绕时, 能通过感应方法损坏ESD敏感装置 .

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