黄光制程工艺流程教材(PPT 27页)

黄光制程
总流程图
黄光制程：通过对涂覆在玻璃表面的光敏
性物质(又称为光刻胶或光阻)，
经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用，
然后进行蚀刻脱膜并最终获得永久性图形的过程。
制程流程
素玻璃经过清洗、烘烤后进入真空室进行溅镀ITO/MAM。
GlassCleaning：去除玻璃表面的脏污、油污等，
使玻璃表面清洁，以保证后续光阻的涂布效果及结合力。
主要控制参数：清洗液浓度，清洗速度，脱脂毛刷压入量。

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