ESD控制技术规范(DOC 20页)

10.10工装的防静电技术要求：
10.11静电敏感区域的防静电器材规范：
10.12.1防静电器材的技术要求：
10.12.2.1防静电台垫：
10.12.2.2防静电地垫：
10.12.2.3工作椅：
10.12.2.4防静电包装袋：
10.12.2.5防静电容器(包括周转箱、元器件存放盒、印制板架等)：
10.12.2.6防静电周转车：
10.12.2.7静电消除器(离子风机)：
10.12.2防静电器材及其使用维护要求：
10.12EPA区内特殊情况处理
10.1基本防静电要求:
10.2防静电工作台的技术要求：
10.3工作台的电气要求:
10.4.1按照工作台面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。
10.4.2使用异丙基酒精彻底清洗台垫下表面(即黑色的一面)。
10.4.4使用异丙基酒精清洗防静电台垫上表面和各组成构件。
10.4.5将经过以上准备好的防静电台垫平整的铺于工作台面上。
10.4.6按操作人员的作业范围、确定铺放台垫的面积。
10.4.7将工作台置于防静电地垫上。
10.4.9全部安装完毕后，对各参数指标进行检验合格后，方可开始使用。
10.4工作台的安装(配置)要求:
10.5.1防静电工作台的台垫和地垫，分别串联1MΩ+\-10%的电阻接地(即软接地)。
10.5.2防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻为1×106~1×109Ω。
10.5.3接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。
10.5.4多台防静电工作台的接地线不能相互串接。
10.5.6对载流接地线，应使用同轴电缆来接地和屏蔽。
10.5防静电工作台接地要求:
10.6.1防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态。
10.6.5使用中性清洗剂或防静电剂清洁防静电台垫和地垫。
10.6.6对所有建筑地板使用防静电溶液进行维护保养。
10.6.7以上条款必须定期进行监测。
..............................