气体设备的基础知识(PPT 32页)
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气体设备的基础知识(PPT 32页)内容简介
一.气体设备种类
BSGS
GC
GR
VMB
VMP
常用阀门图例
常用位号定义
常用材料选型
二.常用接口类型
VCR
Swagelok，let-lok，卡套
NPT、管螺纹
三.常用材料种类
管道
抛光处理类型
管配件
常见阀门
压力表
四.检测类
检测标准
面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类
气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、
安全稳定、连续的输送到下游设备。
BSGS：大流量特殊气体输送柜
GC：气瓶柜
GR：气瓶架
气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，
同时保证生产的连续进行。
VMB：阀组箱
VMP：阀组盘
BSGS：大流量特殊气体输送柜
气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，
储存量大于500L的特种气体储存和送气系统
常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、
NH3等高流量气体系统
..............................
BSGS
GC
GR
VMB
VMP
常用阀门图例
常用位号定义
常用材料选型
二.常用接口类型
VCR
Swagelok，let-lok，卡套
NPT、管螺纹
三.常用材料种类
管道
抛光处理类型
管配件
常见阀门
压力表
四.检测类
检测标准
面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类
气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、
安全稳定、连续的输送到下游设备。
BSGS：大流量特殊气体输送柜
GC：气瓶柜
GR：气瓶架
气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，
同时保证生产的连续进行。
VMB：阀组箱
VMP：阀组盘
BSGS：大流量特殊气体输送柜
气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，
储存量大于500L的特种气体储存和送气系统
常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、
NH3等高流量气体系统
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