培训系列之质谱原理与真空检漏(PPT 70页)

主要内容
1 检漏概述
1.1 检漏的意义及其重要性
1.2 漏气判断和漏孔表示法
1.3 漏孔气流特性
1.4 最大允许漏率的估算
1.5 对检漏方法的要求和选择
1.6 检漏技术中的几个概念
2 检漏方法
2.1 真空检漏法
2.2 充压检漏法
2.3 背压检漏法
2.4 各种检漏方法比较
3 检漏仪
3.1.1 氦质谱检漏仪工作原理
3.1.2 逆流氦质谱检漏仪
3.1.3 氦质谱检漏仪的灵敏度
3.1.4 氦质谱检漏仪的示漏气体

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