AD898培训手册(PDF 31页)

目 录
说 明.3
AD898机器功能的设定及检查4
1 机台水平.4
2 Bond Head 光学镜头水平4
3 Wafer 光学镜头水平.5
4 Work Holder 水平.5
5 Track limit sensor旗仔位置.6
6 Bond Head Y 轴水平.7
7 Bond Arm 平坦度8
8 Bond Head Z感应器旗仔位置8
9 Bond Head Y感应器旗仔位置9
10 Bond Optics Table 平行度.10
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