烧结炉与退火炉培训(ppt 56页)

主要内容
一、基本知识
二、COC量产烧结炉
三、COC烧结工艺介绍
四、COC退火工艺介绍

 

 

烧结炉与退火炉
主要内容
基本知识－PDP用玻璃基板简介
基本知识－烧结炉的作用
基本知识－扇形形变
基本知识－烧结炉结构
基本知识－退火炉的作用
COC量产用烧结炉－目的
COC量产用烧结炉－玻璃基板尺寸
COC量产用烧结炉－设备清单
COC量产用烧结炉－基本规格
COC量产用烧结炉－烧结炉结构
COC量产用烧结炉－炉体介绍
升温区、保温区剖面图
COC量产用烧结炉－加热器、T/C
COC量产用烧结炉－温度控制系统
COC量产用烧结炉－送气与排气系统
供气/排气数、Valve位置
有机排气System及工程Scope概略图
COC量产用烧结炉－载板
适用Setter的尺寸
COC量产用烧结炉－各部分的功能、温度与规格
COC量产用烧结炉－基本流程
COC量产用烧结炉－烧结炉示意图
COC量产用烧结炉－设备的维护及维修
COC烧结工艺介绍－烧结工艺的使用工序
COC烧结工艺介绍－相关工序烧结工艺参数（1）
COC烧结工艺介绍－相关工序烧结工艺参数（2）
COC烧结工艺介绍－BUS&ADD电极烧结温度曲线
COC烧结工艺介绍－FD烧结温度曲线
COC烧结工艺介绍－RD烧结温度曲线
COC烧结工艺介绍－烧结时升温速率与介质表面状态和介质缺陷的关系
COC烧结工艺介绍－BR烧结温度曲线
COC烧结工艺介绍－PH&SL烧结温度曲线
COC烧结工艺介绍－注意事项
COC退火工艺介绍－退火炉炉温参数
COC退火工艺介绍－退火炉炉温曲线
谢 谢

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