PECVD段工艺培训(ppt 37页)

主要内容
工艺人员的主要职责
简单介绍PECVD
PECVD的原理与作用
介绍两种PECVD所用的设备
生产过程中可能遇到的异常及处理方法
附件

 

 

PECVD段工艺培训
工艺人员的主要职责
对PECVD的简单介绍
PECVD原理与作用
1、减反射
2、钝化
介绍两种PECVD设备
频率变化对镀膜的影响：
目前公司所用设备：
测试仪器：
常见问题及其处理方法
报警的处理：
不同膜厚硅片颜色对比：
异常片处理流程
其他注意事项：
附件：
The End

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