干膜培训讲义(PPT 32页)

干膜培训讲义
第一部分 干膜基本知识
第三部分内层各工段常见问题及控制
第四部分内层返工板的控制
第五部分内层干菲林常见缺陷及分析
第五部分 结束语
1、干膜结构
2、干膜的主要成分
粘结剂(Binder, Epoxy-Acrylate Oligomer)
单体(Monomer，Acrylic Special Monomer)
光引发剂(Photo-Initiator)
染料(Dye)
增塑剂(Plasticizer)
增粘剂(Adhesion Promoter)
3、干膜的反应机理
干膜在曝光(Exposure)过程中，波長在310~430nm的紫外光
光子,將其本身的能量(hν)传寄給光引发剂,使其激活产生
自由基，自由基与单体发生交联反应(Cross-Linking) ,使
光阻膜(Photoresist)由线形结构转化为立体交叉结构,将可
溶性的-COOH官能团包埋在立体结构的中间,在碱性碳酸鈉溶
液中不会溶解,达到图形转移的目的。
4、HT-312干膜的基本性能
内层干膜使用的长兴干膜是HT-312干膜，它有以下一些特性：
厚度：30±2μm
颜色：曝光前绿色
曝光后蓝色
附着力：25μm（曝光能量：7级/21级曝光尺）
解像度：LW/LS= 25μm/ 25μm
 （曝光能量：7级/21级曝光尺)

..............................