RENAinoxide培训教材(PPT 36页)
- 所属分类：
- 企业培训
- 文件大小：
- 2525 KB
- 下载地址：
- 相关资料：
- 培训教材
RENAinoxide培训教材(PPT 36页)内容简介
RENA inoxide 培训
RENA Inoxide 大致构造
RENA刻蚀的机理
RENA刻蚀的机理——溶液变绿
RENA刻蚀工艺的关键 ——刻蚀槽补液
调节——配比
调节——温度
调节——初配液
碱洗槽和去PSG氢氟酸槽
刻蚀线
PPV材料的疲劳
碎 片
其它
异常情况及排查过程
异常情况及排查过程
紧急情况的处理
常用的工艺操作
“一化一水”，硅片每经过一次化学品，都会经过一次水喷淋清洗。
除刻蚀槽和第一道水喷淋之间,其它的槽和槽之间都有吹液风刀。
（风刀主要是将液体吹回槽体，防止液位降低造成报警）
除刻蚀槽外，其它化学槽和水槽都是喷淋结构，
去PSG氢氟酸槽是喷淋结构，而且片子进入到溶液内部。
最后一道水喷淋（第三道水喷淋）由于要将所有化学品全部洗掉，
所以水压最大。相应的，最后的吹干风刀气压最大。（只是相对而言）
..............................
RENA Inoxide 大致构造
RENA刻蚀的机理
RENA刻蚀的机理——溶液变绿
RENA刻蚀工艺的关键 ——刻蚀槽补液
调节——配比
调节——温度
调节——初配液
碱洗槽和去PSG氢氟酸槽
刻蚀线
PPV材料的疲劳
碎 片
其它
异常情况及排查过程
异常情况及排查过程
紧急情况的处理
常用的工艺操作
“一化一水”，硅片每经过一次化学品，都会经过一次水喷淋清洗。
除刻蚀槽和第一道水喷淋之间,其它的槽和槽之间都有吹液风刀。
（风刀主要是将液体吹回槽体，防止液位降低造成报警）
除刻蚀槽外，其它化学槽和水槽都是喷淋结构，
去PSG氢氟酸槽是喷淋结构，而且片子进入到溶液内部。
最后一道水喷淋（第三道水喷淋）由于要将所有化学品全部洗掉，
所以水压最大。相应的，最后的吹干风刀气压最大。（只是相对而言）
..............................