科学研究计划项目申请书编写提纲(DOC 66页)

一、 总体介绍
一、 超精密衍射光栅刻划机工作方式及系统组成
一、 立项依据
一． 机械机构
七、现有工作基础和条件
三、 刻划机工作台的运动方式
三、 拟解决的关键科学问题和主要研究内容
三． 实验环境
九、 经费概算
二、 光栅刻划机关键结构部件
二、 拟解决的关键问题和主要研究内容
二、 国内外研究现状和发展趋势
二． 建模与控制方案
于是得转角方程和挠曲线方程为：
五、 计算机辅助制造（CAE）
五、 总体研究方案
五． 控制软件平台设计
图10. 基于单神经元的PID智能控制精度测试
图11. 超精密定位工作台振动(红)与单神经元的PID智能控制算法跟踪(蓝)
图12. 宏微联合前馈智能控制器流程图
图13. 光栅全行程刻划过程中定位误差变化图
图13. 超精密定位平台的控制系统结构
图14 压电驱动器及其控制器
图2.14   金刚石刻刀图
图2.15   复合式刀架结构图
图2.2  斯特朗型示意图
图2.3  斯托洛克型示意图
图4. 新型的整合宏微观效应的刚-柔耦合、虚实混合系统动力学模型结构图
图4.1 光栅刻划机刻划状态监控示例
图4.10.测量光路图
图5. 传统PID控制结构
图6. 传统定常PID控制定位精度测试结果
图8. 单神经元自适应PID控制结构
图9. 单神经元PID算法控制效果的仿真测试
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