先进芯片制造行业中成功案例分析(PPT 52页)

第一章“精确复制”简介
1.1“精确复制”策略产生的背景及其作用
半导体生产以工艺流程复杂为特点，通常一个生产过程有许多单独的工艺步
序，并且许多步序的公差范围非常小。此外还存在着复杂的交互影响，即每一个步
序可能会影响到其他步序，每一个最终产品的参数可能由许多输入的结果决定。同
时这种复杂程度随着新一代技术的出现，在不断增加。那些在过去认为是不重要的
因素，现在成为影响工艺结果的重要参数。
在半导体行业，技术研发和生产设备的投入是非常高的，并且每一代都在增加。
当一个新工艺流程和产品被研发出来后，为了适应市场的需要，人们希望能在保证
没有质量问题，尽可能高的成品率的前提下，尽快把这一新技术投入量产。
传统技术转移的方式通常允许对设备和工艺进行更改。这些变动有的是为了改
进，有的是为了适应工厂的特殊要求，因为他们可能在生产其它产品。但是由于技
术变得越来越复杂，这些临时的改动通常会引起许多不可遇见的问题，从而使生产
线起动延迟或造成更糟糕的结果［1］。
为了解决上述问题，英特尔在八十年代中提出了“精确复制”（CopyExactly）
的建厂策略，并从1996年开始完全采纳这一策略。英特尔的“精确复制”策略可
使公司在确保质量和成品率的前提下迅速建厂并进入量产阶段，从而缩短产品上市
时间。并同时确保它在全球不同工厂生产的产品具有一样的品质。
英特尔的“精确复制”策略使其实现了如下三个目标：
一、从研发到批量生产的快速转移
“精确复制”策略通过将研发工厂的东西复制到量产车间
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