洁净厂房及空调净化系统运行确认方案(DOC 32页)

6.1  概述
6.2  运行确认内容
6.2.1  清洁确认
6.2.10  互锁确认
6.2.11  自净时间测定
6.2.2  空调机组运行确认
6.2.3  高效过滤器的安装
6.2.4  风量调整
6.2.5  高效过滤器检漏
6.2.6  风压测试
6.2.7  照度检测
6.2.8  洁净区空气流向的检测
6.2.9  噪声检测
..............................