IC有源元件与工艺流程(ppt 94页)

5.1 概述               
5.2   双极性硅工艺
5.3 HBT工艺      
5.4   MESFET和HEMT工艺
5.5 MOS工艺和相关的VLSI工艺
5.6 PMOS工艺      
5.7   NMOS工艺
5.8 CMOS工艺    
5.9   BiCMOS工艺

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