论微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响(pdf 6页)

论微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响内容提要：
针对镀前不能使用高能离子轰击清洗的硬质合金工件，采用正交法设计微喷砂工艺，用320 目白刚玉对YG6
硬质合金样品进行微喷砂预处理后，利用阳极层流型气体离子源和非平衡磁控溅射复合技术制备梯度过渡类金刚石薄
膜。结果表明：类金刚石薄膜厚度为2.7 μm，平均显微硬度高达2 677 HV0.025,15，平均摩擦因数低至0.105；未预处理
的硬质合金样品的膜/基结合力为30 N，而微喷砂预处理后的样品，其膜/基结合力显著提高，最高可达55.7 N；微喷
砂各个因素对膜/基结合力的影响程度不同，其中喷砂压力是主要影响因素，喷砂距离和喷砂时间影响较小；优化后的
微喷砂预处理工艺参数是：喷砂压力：0.10 MPa；喷砂距离：75 mm；喷砂时间：120 s。
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