电子工业污染物排放标准(pdf 41页)

目 录
1.项目由来. 1
2.标准制订的必要性. 1
2.1 半导体产业是国家和上海市地方重点发展的产业1
2.2 我国缺乏半导体行业的国家排放标准2
3.标准制订的原则与依据. 2
4.我国半导体行业现状与发展趋势预测. 3
5.标准适用范围. 7
6.半导体生产工艺及污染控制技术调查分析. 8
6.1 半导体生产工艺8
6.2 产污分析 .9
6.3 污染控制技术调查分析15
7.国外半导体行业污染物排放标准 20
7.1 美国半导体行业污染物排放标准.20
7.2 德国半导体元件生产废水排放标准.22
7.3 世界银行污染预防和削减手册的相关标准23
7.4 台湾半导体制造业空气污染管制及排放标准24
8 标准制订 25
8.1 标准制订的基本思路25
8.2 执行时间段划分.25
8.3 排放因子及控制指标的选择26
8.4 标准值的形式.27
8.5 标准值的确定.28
9.标准实施的管理措施 34
10.标准可行性分析. 35
10.1 经济可行性分析35
10.2 技术可行性分析37
10.3 环境效益分析37
10.4 本标准与GB 8978-1996 和GB 16297-1996 的比较.38
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