硅单晶片的机械损伤层结构模型(pdf 7页)
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硅单晶片的机械损伤层结构模型(pdf 7页)内容简介
主要内容
一、损伤层的结构模型
二、测量方法
三、切、磨损伤深度与磨料的关系
四、切、磨损伤深度与材料的关系
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一、损伤层的结构模型
二、测量方法
三、切、磨损伤深度与磨料的关系
四、切、磨损伤深度与材料的关系
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