微机械光开关的设计与制造毕业论文(pdf 54页)

目录
第一章绪论l
11研究光开关的意义1
12光开关的现状1
121光开关的分类与现状1
122光开关的应用及前景分析3
13本论文的研究目的和研究内容4
第二章光开关简介6
21光开关的主要性能参数6
22常见的机械式光开关7
第三章结构设计和原理9
31结构设计与考虑9
311光开关的光束耦合过程及其影响因素9
312 M OMS光开关的设计考虑和光学原理1l
32各光电元件设计与分析l 2
33器件结构1 7
34光路模拟和误差分析1 7
341光路模拟和误差1 7
342敏感性和误差分析1 9
第四章工艺设计与制造2 9
41工艺流程设计2 9
42激光焊接工艺2 9
42。1激光焊接原理2 9
422激光焊接技术3 l
43密封封装工艺3 4
第五章特性测试与认证3 6
51光学与电学性能的测试3 6
511光开关的驱动和状态识别3 6
512重复性测试3 6
513开关速度测试3 7
52 M OM S光开关的产品性能3 7
53可靠性试验4 0
第六章总结4 2
参考文献4 4
..............................