论工艺气体流量在玻璃镀膜中的重要性(pdf 6页)

论工艺气体流量在玻璃镀膜中的重要性内容提要：
工艺气体是镀膜玻璃生产J：艺中最重要的控制对象之一，不同厂家制造的设备，不同时期制造的设备，有着不同的控制方式。：【艺气体控制分为恒压力控制和恒流量控制两种方式。目前国内有近300条离线磁控镀膜玻璃生产线。其中进口生产线40多条，国产生产线200多条。原美国爱柯公司早期的生产线，都采用恒压力控制系统，而95年以后的生产线则采用恒压力和恒流鼙两套控制系统，用户可以根据j：艺需要和偏好自己选择；原德国莱宝的生产线则一直采用恒流量控制系统：国产镀膜生产线采麒两种控制系统的界限不明显，有的生产线只有两个一1：艺室，第一个室的l：艺气体朋恒压力控制系统，第二个室的一L艺气体却州恒流量控制系统。两种．1：艺气体控制系统都能满足镀膜玻璃生产1：艺的要求，在实际生产应朋过稃中，人家普遍反映恒压力控制系统能使生产工艺更稳定，恒流量控制系统使生产一I．艺更灵活，生产出的镀膜玻璃颜色更丰富。本文通过实验和对镀膜l：艺理论的理解，将1j艺气体流量在磁控溅射镀膜玻璃生产1：艺中的重要性，进行简要分析。
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