薄膜材料物理之薄膜的形成(ppt 25页)

薄膜材料物理之薄膜的形成内容提要：
小岛阶段—成核和核长大：
透射电镜观察：大小一致(2-3nm)的核突
然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向
的第三维。
说明：核生长以吸附单体在基片表面的扩散，
不是由于气相原子的直接接触。
结合阶段
两个圆形核结合时间小于0.1s,并且结合后增大了高度，减少了在基片所占的总面积。而新出现的基片面积上会发生二次成核，复结合后的复合岛若有足够时间，可形成晶体形状，多为六角形。核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散（以表面扩散为主）以便表面能降低。
核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散（以表面扩散为主）以便表面能降低。在结合之初，为了降低表面能，新岛的面积减少，高度增加。根据基片、小岛的表面能和界面能，小岛将有一个最低
能量沟形，该形状具有一定的高经比。

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