UPW纯水系统相关知识简介(ppt 27页)

UPW纯水系统相关知识简介内容提要：
主要用途（GMIC）：
超纯水主要供集成电路芯片生产的清洗用水，且用量较大。另外还提供一些生活用水，以及PCW（工艺冷却水系统）、膨胀水箱、加湿器等都会用到不同程度的纯水。
为了满足工艺设备对水质的要求，必须考虑输送材料、流速、合理的输送系统的设计
MMF和AC：
MMF(多介质过滤器)和AC（活性炭过滤器）是作为RO的预处理，对RO膜起保护作用。
预处理原水首先加入絮凝剂和混凝剂，可以降低浑浊度（使微小颗粒凝聚变大，重力沉降有助于过滤）,去除悬浮物和胶体等杂质。
加入NaHSO3去除余氯（将氯还原），防止RO膜被氧化，活性炭也有吸附余氯的作用。
为了提高出水质量和加强对RO膜的保护，现在通常用UF作为预处理 。    
超滤是一种以筛分为分离原理，以压力为推动力的膜分离过程，过滤精度在0.005-0.01μm范围内， 可有效去除水中的微粒、胶体、细菌垫层及高分子有机物质。可广泛应用于物质的分离、 浓缩、提纯。超滤过程无相转化，常温操作，对热敏性物质的分离尤为适宜，并具有良好的耐温、耐酸碱和耐氧化性能（可以耐受高浓度的余氯和过氧化氢溶液），能在60℃ 以下，pH为2-11的条件下长期连续使用。
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