单晶炉的机械结构与维修研讨(ppt 39页)

单晶炉的机械结构与维修研讨目录：
一、设 备 简 介
二、工艺过程
三、熔  料
四、引  晶
五、放  肩
六、等  晶
七、收  尾
八、TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉
九、整体结构尺寸
十、接口尺寸
十一、晶体提升机构结构（主视）
十二、晶体提升腔拆装及调整
十三、籽晶钢缆的对中
十四、晶升离合器的调整
十五、晶体提升机构维护周期表
十六、坩埚提升机构
十七、坩埚提升机构拆装及调整
十八、翻板阀的调整
十九、水平调整机构
二十、副室旋转机构
二十一、氩气分流系统
二十二、真空系统
二十三、冷却水系统

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