电子探针X射线显微分析仪概述(PPT 58页)

1.1概述
1.2EPMA基本原理
1.3仪器基本结构
1.4定性定量分析方法
1.5样品制备
1.6定量分析的步骤及注意事项
1.1EPMA概述
1.1.1电子探针的发展历史及发展趋势
现有EPMA主要生产厂家和产品：
1、日本岛津公司EPMA—1720
2、日本电子公司JXA-8200
3、法国CAMECA公司SXFiveFE
EPMA发展趋势
1.1.2电子探针仪器的分析特点
1.2电子探针的基本原理
1.2.1电子与物质的相互作用
图1电子与物质交互作用产生的主要信息
1.二次电子
二次电子及二次电子像
2.背散射电子及背散射电子像
3.阴极发光
4.特征X射线
5.吸收电子
6.透射电子
7.俄歇电子
1.2.2EPMA定性分析原理
晶体衍射原理图
特征X射线谱线图
1.2.3EPMA定量分析原理
1.2.3定量修正——背景修正
1.2.3定量修正——死时间校正
1.3电子探针的基本结构
1.3.1电子光学系统
1.3.2X射线分光晶体谱仪
不同晶体的检测范围
2.X射线探测器
闪烁计数器
3.分光晶体谱仪的机械结构
1.3.3X射线测量记录装置
1.3.4光学显微镜及透射照明光源
1.3.5样品室
1.3.6自动化分析系统
1.3.7真空系统
1.3.8扫描显示系统
1.4样品要求及制备
样品制备
1.5分析方式
样品面分布图
1.6定量分析的步骤
定量分析的注意事项
..............................