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智能微系统的制造技术(PPT 190页)

所属分类：
智能制造
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制造技术
智能微系统的制造技术(PPT 190页)内容简介
主要内容
第1节MEMS的材料
第2节半导体微加工技术
第3节硅材料微机械加工技术
第4节LIGA加工技术
第5节其它微细加工技术

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