离子注入工艺培训课件(ppt 53页)

主要内容
第四章 离子注入工艺
一．离子注入工艺设备结构
二、离子注入工艺的特点
基个概念：
三、离子注入原理
4.1核碰撞和电子碰撞
核碰撞和电子碰撞:
（一）、核阻止本领
（二）电子阻止本领
（三）射程的概念
4.2注入离子的分布
（一）纵向分布
注入离子的分布计算
注入离子分布
离子注入结深计算
(二）横向效应
(三)．沟道注入
（四）复合（双层）靶注入
4.3  注入损伤
一．损伤的形成
二.移位原子数的估算
三．非晶层的形成
四、损伤区的分布
． 4.4 热退火
2．硼的退火特性
3．磷的退火特性
热退火问题
4.扩散效应
5.快速退火
4.5 离子注入优缺点
三．自对准金属栅的结构
四. 离子注入的应用

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