LED制造工艺流程简介(PPT 55页)

LED制造工艺流程
工艺过程
技术路线
衬底制备
RIE (Reactive Ion Etching)反应离子刻蚀
外延材料生长
反应原理、反应方程式
外延层结构
外延片检测
P面工艺
薄膜转移
N面工艺
芯片点测
划片
芯片分选
封装
封装工艺说明
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