集成电路工艺技术发展现状与趋势概述(PPT 84页)
集成电路工艺技术发展现状与趋势概述(PPT 84页)内容简介
1、集成电路特点—遵循Moore定律
等比例缩小(Scaling-down)定律
恒定电场定律的问题
微细加工
互连技术
SOI与SiGe技术
SOI技术:优点
智能传感器微系统:单元技术
射频模拟微系统:单元技术
高速射频采样ADC与光电器件集成技术
支撑微系统项目基础工艺研究情况
基础工艺:高密度互连布线工艺
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等比例缩小(Scaling-down)定律
恒定电场定律的问题
微细加工
互连技术
SOI与SiGe技术
SOI技术:优点
智能传感器微系统:单元技术
射频模拟微系统:单元技术
高速射频采样ADC与光电器件集成技术
支撑微系统项目基础工艺研究情况
基础工艺:高密度互连布线工艺
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