PECVD标准作业指导书(PDF 156页)

第1 章 安全知识 ......  9
1.1 安全标识说明 .. 9
1.2 安全知识说明  10
1.2.1 一般安全知识.... 10
1.2.2 安全装置..... 11
1.2.3 安全装置系统功能（一）..... 11
1.2.4 安全装置系统功能（二）..... 11
1.2.5 用户公司安全须知（一）..... 12
1.2.6 用户公司安全须知（二）..... 12
1.2.7 维护及预防性维护（一）..... 12
1.2.8 维护及预防性维护（二）..... 13
1.2.9 电气系统..... 13
1.2.10 工艺气系统  14
1.2.11 设备上的安全标签 .. 14
1.2.12 消防安全 .... 15
1.3 气体安全 . 15
1.3.1 氮气（N2）  15
1.3.2 氨气（NH3） .... 15
1.3.3 硅烷(SiH4) .. 16
1.3.4 笑气（N2O） .... 16
第2 章 技术数据 . 17
2.1 尺寸与重量(详见设备铭牌) ..... 17
2.2 介质连接 . 17
2.3 冷却水 ..... 17
2.4 压缩空气 . 18
2.5 环境空气 . 18
第3 章 设备安装 . 19
3.1 设备结构简介  19
3.2 设备安装流程  20
3.2.1 设备拆箱..... 20
3.2.2 设备进厂..... 21
3.2.3 设备物料清点和保管...... 22
3.2.4 设备定位..... 22
3.2.5 设备合体..... 24
3.3 炉体柜部件安装 ... 26
3.3.1 石英管安装. 26
3.3.2 前后过渡法兰安装... 29
3.3.3 后炉门安装. 29
3.3.4 前炉门安装. 29
3.3.5 热电偶安装. 30
3.4 净化台部件安装 ... 31
3.4.1 推舟部件组装.... 31
3.4.2 SiC 杆桨组装..... 32
3.5 气源柜部件安装 ... 34
3.5.1 真空管道安装.... 34
第4 章 设备调试 . 37
4.1 软着陆调试 .... 37
4.2 电极杆调试 .... 39
4.3 炉门调试 . 41
4.4 冷却水测漏 .... 44
4.5 抽真空 ..... 45
4.6 流量计通讯与设置 ...... 45
4.7 蝶阀学习 . 46
4.8 射频电源试辉光 ... 47
4.9 特气管道保压  47
4.10 送特气.. 48
4.11 升温系统调试.... 49
4.11.1 温控仪调试和设置 .. 49
4.11.2 升温调试 .... 49
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