半导体制造工艺之扩散原理概述(PPT 46页)

本征扩散时，理想边界条件下的解。
实际情况需要修正，如：
高浓度
电场效应
杂质分凝
点缺陷
如何判断对费克定律应用何种解析解？
当表面浓度为固溶度时，意味着该分布是余误差分布
当表面浓度较低时，
意味着该分布是经过长时间的推进过程，是高斯分布。
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