MEMS工艺技术培训课程(PDF 70页)
MEMS工艺技术培训课程(PDF 70页)内容简介
1.什么是 MEMS?
2.CMOS & MEMS 的差异
3.MEMS 工艺分类
4. MEMS技术的发展趋势
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2.CMOS & MEMS 的差异
3.MEMS 工艺分类
4. MEMS技术的发展趋势
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