基于激光诱导向前转移技术直写布线工艺研究(PDF 55页）

3.1 前言
3.2 激光微加工平台简介
3.2.1 355nm 紫外激光微加工工作平台简介
3.2.2 1064nmNd：YAG 激光器微加工平台简介
3.3 金属膜层转移实验中样品的控制
4.2 使用355nm 紫外激光器进行薄膜向前转移实验研究
4.2.1 激光平均功率对转移实验结果的影响
4.2.2 扫描速度对转移实验结果的影响
4.2.3 加工次数对转移实验结果的影响
4.2.4 激光重复频率对转移实验结果的影响
4.2.5 离焦量对转移实验结果的影响
4.2.6 接收距离对转移实验结果的影响
4.3 使用1064nmNd：YAG 激光器进行薄膜向前转移实验研究
5.1 前言
5.2 使用355nm 紫外激光器进行厚膜向前转移实验研究
5.3 使用1064nmNd：YAG 激光器进行厚膜向前转移实验研究
5.4 转移沉积金属导线质量的测量与评估
5.4.1 转移的金属导线电阻率的测量
5.4.2 金属导线与接收基片之间结合力的测试
5.5 利用激光诱导向前转移工艺制作空芯平面矩形微电感
5.6 本章小结
图 4-10 加工转移次数分别为1 次和11 次时，沉积转移得到的金属银膜的形貌图
图 4-11 激光重复频率与诱导转移阈值功率的变化规律
图 4-12 离焦量为4.5mm 时，沉积得到的金属导线形貌图
图 4-13 激励电流为15A，转移沉积得到的金属导线的形貌图
图 4-3 激光平均功率为4W 时，烧蚀转移后金属银膜的形貌图
图 4-9 是在不同的激光平均功率下，在接收硅片上沉积转移后得到的金属导线的
图 5-1 激光功率为5W 时的转移烧蚀原膜的形貌图
图 5-3 激光平均功率为4.5W，激光直写制备的最小线宽导线
图1-1 激光诱导向前转移技术原理图
图1-2 激光诱导转移沉积的形貌图
图1-3 本课题的技术路线图
图2-1 利用银镜反应预置的金属膜层
图2-1 就是采用实验方案一，选用葡萄糖作为还原剂在玻璃基片表面预置的金属
图2-2 旋涂导电银浆料的玻璃基片
图2-2 是我们在方形玻璃片上旋涂导电银浆料的制备的金属银膜层。左图是烧结
图3- 4 金属膜层转移实验中样品控制示意图
图3-1 355nm 紫外激光微加工设备实物图
图3-2 1064nmNd：YAG 激光器微加工设备实物图
图3-3 激光器输出功率与其激励电流强度的对应关系
图4-1 就是相邻两个激光脉冲作用沉积点的示意图。
图4-1 相邻两个脉冲之间的间隔示意图
图4-10 是采用频率f=25kHz，扫描速度为800mm/s，激光平均功率为1.5w，在
图4-2 相邻脉冲之间维持不同的搭界率的示意图
图4-4 激光平均功率与原膜转移线宽的变化关系
图4-5 不同功率（从左至右依次为5W，4W，3W，2W）下直写导线的形貌图
图4-6 激光功率为3W 与4W 时沉积导线的形貌图
图4-7 金属导线宽度与激光平均功率的之间的关系图
图4-8 就是激光平均功率为1.5W 时，金属原膜被激光烧蚀后的形貌图。从图中
图4-8 激光平均功率1.5W，金属原膜被烧蚀转移的形貌图
图4-9 不同功率参数下转移沉积得到的导线的形貌图
图5-2 不同功率参数下，转移沉积导线的外观形貌图
图5-4 金属导线宽度与激光平均功率的之间的关系图
图5-5 激光电流为19A 时，转移沉积金属导线的形貌
图5-6 金属银线横截面的扫描轮廓图
图5-7 测试专用胶带上附着的金属银颗粒
图5-8 激光诱导向前转移直写的空芯平面电感
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