离子注入技术培训课程(PPT 60页)

基本工艺流程（原理和工艺控制参数）
选择性掺杂的掩蔽膜（Mask）
质量控制和检测
后退火工艺的目的与方法
沟道效应
在器件工艺中的各种主要应用
离子注入技术的优缺点
剂量和射程在注入工艺中的重要性
离子注入系统的主要子系统
第四章：离子注入技术
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