NSTDA非晶硅薄膜太阳能生产工艺流程(doc 7页)

NSTDA非晶硅薄膜太阳能生产工艺流程目录：
一、TCO涂层玻璃
二、玻璃磨边机
三、玻璃清洗
四、第一次激光刻划
五、玻璃清洗
六、负载
七、非晶/微晶沉积的PECVD系统
八、冷却炉
九、涂敷薄膜硅的玻璃衬底
十、二次激光刻划
十一、ZnO/Al Ag沉积溅射系统

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