真空泵的选择(doc 4)

 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10^-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

    2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10^-3~10^-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10^-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10^-5mmHg为好。

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