PN结原理及制备工艺培训教材(PPT 38页)

PN结原理及其制备工艺
pn结的形成-形成PN结的原理
半导体二极管的伏安特性
工艺流程图
（0）准备
晶体生长，晶圆切、磨、抛
(2)涂胶
（3）曝光
（4）显影
（6）去胶
（7）杂质扩散
(8)驱入
(10)涂胶
(11)曝光mask2板
(12)显影
(13)腐蚀
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