传感器的加工工艺培训教材(PPT 30页)

传感器的加工工艺
腐蚀工艺
湿法腐蚀工艺
干法腐蚀工艺
表面牺牲层技术
薄膜工艺
化学气相沉积
真空蒸镀
溅射成膜工艺
光刻技术
深紫外光刻
电子束光刻
X射线光刻
压印光刻
离子注入技术
LIGA技术
辅助工艺
封装技术
封装层次结构
质量控制
典型材料的加工工艺
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