背面工艺培训教材(PPT 36页)

1.简单流程介绍
2.背面设备结构以及工艺简介
3.背面减薄以及背蒸菜单简介
4.常见背面异常的分析以及处理
 背面减薄异常分析以及处理
背蒸工艺异常分析以及处理
背面工艺培训
Tape parameter
Tape Setting Section
Sample
Tape evaluate
减薄设备简介
减薄工艺简介
Back grinding process evaluation
DETAPE设备简介
DETAPE工艺简介
背蒸设备简介—Evaporation （MARK50）
背蒸设备简介—Evaporation（MARK50）
Evaporation
RGA monitor
背蒸设备简介—Back Sputter（XM90）
背面减薄菜单介绍
背面工艺主要异常以及处理——图示
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