项目管理及薄膜太阳电池制造工艺(PPT 63页)

项目管理及薄膜太阳电池制造工艺(PPT 63页)目录：

一、硅基薄膜材料及其制备
二、非晶硅薄膜太阳电池制造工艺
三、非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池制造工艺
四、碲化镉薄膜太阳电池制造工艺
五、铜铟镓硒薄膜太阳电池制造工艺

 

项目管理及薄膜太阳电池制造工艺(PPT 63页)简介：

一、硅基薄膜的物性及分类
硅基薄膜就是在衬底上沉积硅元素制成的硅薄膜材料。通常硅基薄膜太阳电池分为非晶硅、微晶硅、多晶硅和单晶硅薄膜电池。特点如下:
非晶硅中硅原子呈现无序排列，相应的薄膜中存在悬挂键。
微晶硅中纳米量级的硅晶粒(小于1μm)镶嵌在非晶硅中，晶粒边界处的原子呈无序态。
多晶硅主要由大晶粒(1μm—1mm)构成，并且没有非晶相存在。
单晶硅具有完整的晶体结构，是理想的半导体材料，但其制备成本也最高。
二、硅基薄膜的制备方法
三、多晶硅基薄膜的间接制备法
在硅基薄膜的各种直接制备法中，通过调节制备过程中的关键参数，可以制备出非晶硅和多晶硅基薄膜。多晶薄膜也可以通过非晶薄膜再结晶方法。固相晶化法，激光诱导退火，金属诱导晶化。

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