CVD金刚石(膜)制备技术及其应用进展(pdf 7页)

CVD金刚石(膜)制备技术及其应用进展内容提要：
化学气相沉积(CVD)方法是金刚石(膜)制备的主流技术，经过多年的发展，已从最初的微米金刚石膜发展到纳米
金刚石膜，至目前高质量的单晶金刚石，应用领域不断扩展。除了工业和民用领域外，纳米金刚石膜在MEMS／NEMs、生物
医学的应用进展引起业界关注，其中大尺寸单晶金刚石的制备是推动这些应用的关键。本文分析了MPCVD金刚石成膜特
点，讨论了现阶段CVD金刚石膜商业化推广应用的制约因素，展望了今后金刚石膜的发展前景。

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