常压辉光等离子体催化CH4转化制C2烃在线诊断探讨(pdf 7页)

常压辉光等离子体催化CH4转化制C2烃在线诊断探讨内容提要：
发射光谱方法，作为一种非接触式测量技术，是有效的等离子体诊断方法，町以有效地检测等离子体中电子激发态
物种的种类、浓度及电子温度与密度等[1一]，并对等离子体体系不产生干扰。对于大气压等离子体，传统的适用于低气
压等离子体诊断的静电探针的方法是不适用的。有关发射光谱原位诊断技术用于等离子体体系的研究报道不断增多，但
主要集中于对等离子体条件下cI-h-Hz制金刚石薄膜沉积体系的研究【3“J，近年来对于用CH一制备C2烃的研究逐渐增
加Is．s]。通过发射光谱测最，不仅能获得等离子体的各种原子，分子和离子成分的相对含量的信息，还可以获得等离子
体密度和激发温度等重要信息。本文利用发射光谱诊断法对旋转电极等离子体反应器进行r在线诊断。本文的研究不仅
为这种新型旋转螺旋状电极等离子体放电反应器催化甲烷转化提供J二艺参数数据揭示其随各种物理参数的变化规
律【7’8]，而且结合等离子体在线诊断研究内在反应的机理，从等离子体内部探索反应器和化学反应的特点。
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