某半导体公司测量系统分析控制程序(doc 7页)

某半导体公司测量系统分析控制程序内容摘要:
1．0目的
1．1了解测量器具量测的性能，是否能满足测量要求。
1．2 对新进或维修后的量测设备，能提供一个客观正确的变异分析及评价量测质量。
1．3 应用统计方法来分析测量系统之再现性及重复性，作为下列各项事项之参考：
1．3．1试验设备是否需要校验；
1．3．2是否可供使用；
1．3．3是否有人为因素造成之失准；
1．3．4是否需要修正校验的周期及频率。
2．0适用范围
2．1适用于公司车载产品量测设备及量具的统计变差分析。
3．0定义
3．1测量仪器：任一用来量测产品特性之仪器皆称为测量仪器。
3．2测量系统：用来对被测特性赋值的操作、程序、量具、设备、软件以及操作人员的集合。
3．3测量系统分析：应用统计方法，基于实际之制程选择适当之作业人数，样本数及重复测试次数，以研究分析主要变差原因。
3．4再现性：测量一个零件的某特性时，不同评价人用同一量具测量平均值变差。
3．5重复性：测量一个零件的某特性时，一位评价人用同一量具多次测量的变差。
4．0职责
4．1计量室：负责制定并实施测量仪器校验计划。
4．2各使用部门负责使用仪器之变差分析（主要指重复性、再现性）及送校。
4．3设备维修部负责测量设备（不包括工具）之维护保养；各使用部门负责测量工具之维护保养。
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